● 結構緊湊，體積小巧，實現(xiàn)三維平移，旋轉(zhuǎn)和俯仰共五軸調(diào)整；
● 左右手成對設計，方便操作，其中02TM522L為左手型；
● 線性導軌+滾珠，運動舒適；
●雙彈簧復位，消除空回
型號
02TM522（L）
調(diào)整維數(shù)
五維
驅(qū)動方式
測微頭
驅(qū)動位置
中心
導軌
線性導軌+滾珠
三維平移行程
13mm
旋轉(zhuǎn)和俯仰范圍
±5º
刻度
0.01mm
精度
0.001mm
直線度
0.003mm(單軸)
擺動誤差
＜20＂
自重
2.1kg
負載
25kg