型號

06FP601（06FP601L）

調整維數

六維

驅動方式

測微頭

平移調整范圍

TxTyTz粗調

±6.5mm

TxTyTz微調

±0.3mm

TxTyTz精度

上下偏擺

20″

左右偏擺

10″

俯仰調整范圍

Θx調節(jié)

±5.5º

Θy調節(jié)

±2.5º

Θz調節(jié)

±2.5º

ΘxΘyΘz精度

10″