該機(jī)構(gòu)三大部分：下基座微調(diào)臺(tái)、上基座微調(diào)臺(tái)和CCD調(diào)整機(jī)構(gòu)。
其中下基座微調(diào)臺(tái)機(jī)構(gòu)包括：±2mm x軸微動(dòng)臺(tái)，±2mm y軸微動(dòng)臺(tái)，±5°繞z軸轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)；
上基座包括：0~50mm、帶數(shù)顯光柵尺(長度分辨率為1μm)的 z軸微動(dòng)臺(tái)；
CCD調(diào)整機(jī)構(gòu)包括兩套獨(dú)立的三軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)±10mm的z軸位移、±10μm的x 軸位 移，±10μm的y軸位移。
設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
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序 號(hào)
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名 稱
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產(chǎn)品規(guī)格
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1
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X軸微動(dòng)臺(tái)
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±2mm
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2
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Y軸微動(dòng)工作臺(tái)
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±2mm
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3
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z軸微動(dòng)工作臺(tái)
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整體量程：0-50mm，在0~3mm范圍內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)局部微調(diào)，分辨率為1μm
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4
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thet軸微動(dòng)工作臺(tái)
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±5°
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5
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上基座支撐板
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246×132×100(10mm厚）
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6
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下基座支撐板
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304×308×15
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7
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CCD支撐板
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z軸向微調(diào)：±10mm
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8
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x軸向微調(diào)：±10mm
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9
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y軸向微調(diào)：±10mm
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10
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支撐立柱
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Φ20×280mm
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11
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支撐底板
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480×700×10
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12
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數(shù)顯光柵尺
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JCXE1-100（ 精度：1μm行程：100mm）
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